MINATEC

L'objectif de ce travail de recherche consiste à développer des nouvelles voies d'accès aux nanoparticules, NPs, de métaux de transition oxophiles, des groupes 4 à 7, par réduction de leurs complexes organométalliques soit par H2, soit par voie électrochimique. Ces métaux trouvent de nombreuses applications en microélectronique, mais ne sont actuellement accessibles que par des procédés coûteux sous ultravide (CVD, PVD, et techniques dérivées).

L'objectif de ce travail de recherche consiste à développer des nouvelles voies d'accès aux nanoparticules, NPs, de métaux de transition oxophiles, des groupes 4 à 7, par réduction de leurs complexes organométalliques soit par H2, soit par voie électrochimique. Ces métaux trouvent de nombreuses applications en microélectronique, mais ne sont actuellement accessibles que par des procédés coûteux sous ultravide (CVD, PVD, et techniques dérivées).